Dr. Michael Popall Telefon +49 931 4100-522 Fax +49 931 4100-559 michael.popall@ isc.fraunhofer.de
Fraunhofer-Institut für Silicatforschung ISC Neunerplatz 2 97082 Würzburg
Die Möglichkeit, viele Strukturierungstechniken zu nutzen, die sehr gute Haftung auf den unterschiedlichsten Materialien sowie kontrolliert einstellbare optische Eigenschaften zeigen, daß ORMOCER®e zur Herstellung von optischen Mikrosystemem hervorragend geeignet sind.
Die Kompatibilität zur herkömmlichen Dünnfilmtechnologie, anspruchslose Verarbeitung (Härtetemperatur < 170 °C unter Normalatmosphäre) und Möglichkeiten der Erzeugung von Mikrostrukturen (z. B. Wellenleiter, Strahlverzweiger) garantieren ein Höchstmaß an Flexibilität und Anpassungsmöglichkeiten, wobei ORMOCER®e ein Negativresist-Verhalten zeigen.
