Dr. Michael Popall Telefon +49 931 4100-522 Fax +49 931 4100-559 michael.popall@ isc.fraunhofer.de
Fraunhofer-Institut für Silicatforschung ISC Neunerplatz 2 97082 Würzburg
Die Kombination der Vielfalt von Techniken zur Strukturierung und die sehr gute Haftung auf den unterschiedlichsten Materialien (z. B. Silizium, SiO2, Glas, metallische, oxidische und Low-cost-Polymer-Substrate, wie BT oder FR4) zeigen, dass ORMOCER®e ausgezeichnet für Anwendungen in der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik geeignet sind.
Die Kompatibilität zur herkömmlichen Dünnfilmtechnologie, anspruchslose Verarbeitung (Härtetemperatur < 170 °C unter Normalatmosphäre) und Möglichkeiten der Erzeugung von Mikrostrukturen (z. B. Bumps und Vias) garantieren ein Höchstmaß an Flexibilität und Anpassungsmöglichkeiten an vor Ort vorhandene Technologien, wobei die ORMOCER®e ein Negativresist-Verhalten zeigen.
